- ① 精密アクチュエータステージとは？
- ② 駆動方式と内部構成
- ③ 精密アクチュエータステージの用途例
精密アクチュエータステージの用途例
前項までは、精密アクチュエータステージ自体およびその駆動や構造について概略理解を促しました。
ここでは、さらに、「その精密アクチュエータステージが実際にどういった場面で使用されているのか？」
……について幾つか紹介したいと思います。
精密アクチュエータステージの実使用例
- ディスペンサ装置
- ガントリ型XYZステージ／ボールねじ駆動
- マッピング装置
- ウェハ飼料台： XYステージ
走査レンズ： 単軸アクチュエータ
- 搬送装置（2部品同時）
- XZステージ／Z×2基搭載
上記に挙げた例が、エレクトロニクス分野における代表的な装置導入例になります。
ちなみに、本稿では、ステージの精度に関してはあまり言及して来ませんでしたが、
用途別に求められる精度としては 50µm～5nm といった具合にレベルは様々であり、
要求精度に依って、設計上、駆動方式や機構および制御の考え方が異なります。