コンタクトプローブ

　ppmオーダーの品質不良の保証の考えが多くの商品で実現されている背景には、生産技術の進歩と併せて、不良品を出荷させないための全数検査の実施によるところが大です。LSIなどは、それ自体に膨大な構成要素の集合体であるため全数検査されます。また携帯電話などのコンシューマー商品も液晶表示素子まで含めると、膨大な構成要素の集合体となるため全数検査されます。 　このような全数検査を低コストで実現させるキーパーツとして、マイクロコンタクトプローブがあります。以下では、ナノ〜ミクロンの世界の先端、マイクロプローブ技術とそのばねを概説しました。 （1）マイクロコンタクトプローブの先端技術 ※出典：羽賀、他；マイクロコンタクトプローブの開発、理研シンポジウムNo17より